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BJMICRO SEM 掃描電子顯微鏡的品質(zhì)值得信賴, 可助工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析實(shí)驗(yàn)室一臂之力
在工業(yè)質(zhì)量、失效分析或研究環(huán)境中,由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學(xué)信息,所以它 是金相學(xué)和失效分析應(yīng)用的理想之選。
專為日常檢測和分析應(yīng)用而設(shè)計(jì),謹(jǐn)諾SEM 擁有先進(jìn)的操作
設(shè)計(jì)理念,無論是經(jīng)驗(yàn)豐富的顯微技術(shù)人員還是不具備掃描 顯微鏡專業(yè)知識(shí)的工程師,均可輕松上手。它能夠提供出色的高質(zhì)量數(shù)據(jù),特別適合于后續(xù)檢測中無法涂覆導(dǎo)電層的非 導(dǎo)電零部件。
最高放大倍數(shù)300,000x
樣品臺(tái)的移動(dòng)范圍最高可達(dá) X=80mm,Y=60 mm
光學(xué)導(dǎo)航實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確樣品定位與追溯
15秒抽真空,30秒成像
即使沒有電鏡操作經(jīng)驗(yàn),培訓(xùn)30分鐘也能親自使用
二次電子(SE) 成像-使用高達(dá)數(shù)納米的分辨率,輕松應(yīng)對(duì)幾乎所有亞微米級(jí)應(yīng)用
落地式設(shè)計(jì),完全防震
內(nèi)置磁屏蔽系統(tǒng)
高容差、防呆設(shè)計(jì)
電子光路免維護(hù)
選配強(qiáng)大的元素分析功能,元素分析與成像一樣簡單
掃描電鏡(SEM) 是一種多用途的分析工具,掃描電鏡以其高 分辨率、大景深和操作簡單等優(yōu)點(diǎn),在多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著重要 作用,具有廣泛的應(yīng)用范圍。
SEM 用于觀察和分析各種材料的微觀形貌、結(jié)構(gòu)和組成。例如,在材料制備過程中,它可以用來分析陶瓷、金屬、高分子材料等顯微結(jié)構(gòu)。
SEM 可以觀察細(xì)胞和組織的超微結(jié)構(gòu),有助于探明病因、治療疾病以及研究生命活動(dòng)的規(guī)律。
SEM 用于電子半導(dǎo)體行業(yè)的多種檢測,如LCD 增亮膜、電子元器件焊點(diǎn)、晶圓雜質(zhì)、半導(dǎo)體元器件和微納加工的檢測。
SEM直接觀察納米材料的結(jié)構(gòu),顆粒尺寸、分布、均勻度及團(tuán)聚情況,并結(jié)合能譜分析納米材料的微區(qū)成分。
SEM用于汽車車衣、防偽涂層、微礦粉、金剛砂等多種工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
SEM 用于古生物形態(tài)分析、鑒定和巖石樣品的潤濕性特征研究等。
包括粉末、微粒、鍍層厚度、機(jī)械零件失效分析、刑偵案件物證分析與鑒定等。
通過分析自然狀態(tài)下的樣品,獲得精準(zhǔn)且質(zhì)量優(yōu)異的圖像和數(shù)據(jù)。當(dāng)然,有時(shí)不希望將某一特殊零部件移至掃描電子顯微鏡下,因?yàn)榉菍?dǎo)電表面會(huì)在電子束的作用下充電。在多模式質(zhì)量保證或失效分析工作流程中使用的零部件不得進(jìn)行改性。
石墨 |
纖維 |
血液分析 |
生物樣本分析 |
OLED |
首飾 |
陶瓷 |
IC |
能譜儀
能譜儀(EDS)主要是用來對(duì)材料微區(qū)元素 組成進(jìn)行定性、定量分析的一種科學(xué)儀器。 廣泛應(yīng)用于各種材料的元素分析,如金屬、 陶瓷、混凝土、生物、礦物、纖維等無機(jī)或有機(jī)固體材料分析等。
離子濺射儀
離子濺射儀,采用旋片泵快速產(chǎn)生一個(gè)<3 Pa的真空壓強(qiáng),通常抽真空時(shí)間小于2分鐘。采用磁控濺射技術(shù),以大幅度減少等離子體對(duì)樣品的熱影響和離子轟擊損傷。特別適用于臺(tái)式燈 絲SEM 電鏡樣品的噴金、噴鉑等貴金屬鍍膜用途。
技術(shù)參數(shù)
靶的尺寸 |
直徑32×0.1-2 mm |
離子流控制范圍 |
19mA |
樣品室內(nèi)徑 |
120×120 mm石英玻璃 |
旋片式機(jī)械真空泵 |
10L/min |
外形尺寸 |
360(W)x250(D)x330(H)mm |
電源 |
220V,60Hz,500W |
型號(hào) |
SEM 5000 |
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放大倍率 |
30x~150,000x(圖像放大倍率) |
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二次電子分辨率 |
5.0nm(加速電壓30kv,高真空) |
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10.0nm(加速電壓5kv,高真空) |
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加速電壓 |
1.0kv~30kv |
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樣品最大尺寸 |
60mm(直徑),40mm(厚度) |
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圖像位移 |
±50μm(工作距離=8mm) |
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載物臺(tái) |
電動(dòng)軸 |
5軸電動(dòng)(X,Y,R,T,Z) |
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運(yùn)動(dòng)行程 |
X:0~40 mm,Y:0~40mm,R:360 |
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Z:5~30 mm ,T:0? ~+90° |
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電子鏡 |
電子槍 |
預(yù)對(duì)中型鎢燈絲電子槍 |
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檢測系統(tǒng) |
二次電子探測器,高靈敏度 |
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EDS分析WD(工作距離) |
WD=10mm(T.O.A=22°) |
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圖像顯示 |
圖像保存 |
640x480/1280x960/2560x1920/5120x3840 px |
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圖像格式 |
BMP/TIFF/JPEG |
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主機(jī) |
Windows 10(HDD:500G,內(nèi)存:4GB) |
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真空系統(tǒng) |
渦輪分子泵 |
1臺(tái)泵,80 L/s |
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機(jī)械泵 |
1臺(tái)泵,100 L/min(60Hz) |
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配 件 和 可 選 |
X射線能譜儀(EDS)(Bruker Nano GmbH/AMETEK/Oxford Instruments) |
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尺寸 |
450mm(W)x600mm(D)x1,150mm(H) |
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