鎢燈絲掃描電鏡

發(fā)布時間：2021-07-23

產(chǎn)品型號：DM750

所屬分類：電子顯微鏡

描述：DM750鎢燈絲掃描電鏡 ? 3nm@30kV（SE），8nm@3kV（SE），4nm@30kV（BSE） ? 翻開式預對中燈絲，方便更換 ? 不少于8個可擴展接口，可接 WDS、EDS、BSE、EBSD等多種探測器

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詳情介紹

產(chǎn)品特點：

3nm@30kV（SE），8nm@3kV（SE），4nm@30kV（BSE）

翻開式預對中燈絲，方便更換

不少于8個可擴展接口，可接 WDS、EDS、BSE、EBSD等多種探測器

技術指標：

分辨率	3nm@30kV（SE），8nm@3kV（SE），4nm@30kV（BSE）
放大倍數(shù)	5倍-300000倍，可調
電子槍	預對中鎢陰極燈絲
加速電壓	0～30kV，連續(xù)可調
自動調整功能	自動對中、聚焦、亮度、對比度、消像散
探測器	二次電子探測器、背散射電子探測器、紅外CCD，束流測量裝置
真空系統(tǒng)	抽真空系統(tǒng)：渦輪分子泵 + 機械泵。樣品室最高真空度優(yōu)于9X10-3Pa。抽真空時間：≤4分鐘
樣品臺	五軸樣品臺：行程：X=70mm,Y=50mm,Z=60mm，R=360°，T=-10°～+70° 較大樣品直徑: Ф210mm；較大樣品高度：60mm；驅動方式：馬達驅動；樣品臺承重：2kg 其他功能：碰撞報警功能。
能譜儀	探測器：硅漂移探測器有效晶體面積：30mm2 元素探測范圍：B(5) ~ Cf(98) 分辨率：Mn Kα≤129eV @100,000cps 較大輸入計數(shù)率 >1,000,000cps 定量分析計數(shù)率 >100,000cps 1個探測器，2個圖像通道圖像分辨率：最大8K（可調節(jié)） X射線掃描分辨率：最大8K 應用定性及定量分析方法具有圖譜采集功能
濺射儀	離子濺射儀工作原理：磁控濺射可選靶材：金，鉑，金鈀合金，鉛，銀，銅，鉻，銻等全自動操作，簡單易用，非常適用鎢燈絲、臺式掃描電鏡等濺射電流自動調整——設定濺射電流后，系統(tǒng)自動調節(jié)真空度，從而達到設定的濺射電流，調整時間＜5s，波動范圍＜±5%；無需按“實驗”鍵調整濺射電流、無需操作“進氣閥”。真空室：φ128×100高硅硼玻璃濺射時間自動記憶——同類樣品一次設定即可；參數(shù)改變自動調整——濺射過程中可以隨時調整濺射電流和濺射時長，系統(tǒng)自動計算疊加，無需終止濺射過程；工作完成自動放氣；樣品臺高度調節(jié)1秒完成；濺射過程可以利用曲線顯示，清晰直觀。極限真空：小于1Pa 軟硬件互鎖，防誤操作，安全可靠濺射電流高于50mA，停止濺射過程；真空泵工作時，系統(tǒng)無法進行放氣操作；鍍層均勻，導電性良好
選配探測器	BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等

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