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ID-106工業(yè)顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子工業(yè)等行業(yè),進(jìn)行晶體、集成電路的檢驗(yàn)和科學(xué)研究。配備有反射照明,偏光裝置,可連接照相。
技術(shù)參數(shù):
1.無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm
2.鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜,瞳距55-75mm
3.高眼點(diǎn)、大視場(chǎng)目鏡WF10×/22
4.五孔物鏡轉(zhuǎn)換器
5.長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡
Plan Apo 2×/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率 5μm,
Plan Apo 5×/0.14 W.D. 45mm 分辨率 2μm,
Plan Apo 10×/0.28 W.D. 34mm 分辨率 1μm,
Plan Apo 20×/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率 1μm
Plan Apo 50×/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率 0.7μm
6.150mm×150mm(6"×6")雙層活動(dòng)平臺(tái)和圓平臺(tái),主要的特點(diǎn)是用了尼康三角鋼絲和圓柱滾珠,從而在設(shè)計(jì)和材料上保證其平穩(wěn)和精度要求。
7.同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm
8.冷光源光纖反射照明器:12V 150W,特別明亮清晰,對(duì)黑色、深色表面不反光工件塑料、橡膠、碳化物金屬等,亦可清晰。
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